一种聚合物压电MEMS加速度计新设计方案
2024-01-16MEMS加速度计通过微结构内发生的电容、电阻或电荷(压电)变化来检测机械加速度,现已成为仅次于压力传感器,应用量排名第二的MEMS器件。MEMS加速度计一直以来常用于振动监测、汽车测试和惯性导航等应用,最近的研究凸显了MEMS加速度计在健康监测和植入式助听器中的应用潜力。早期的MEMS加速度计采用了硅中的压阻耦合。硅微机械加工技术的进步,实现了更加复杂的可动微机械结构的可靠制造,从而构建了带有梳齿状驱动器的电容式加速度计。近些年,压电MEMS加速度计开始变得流行起来。与压阻和电容耦合加速度计相
采用创新制造方案的聚合物压电MEMS加速度计
2023-12-28MEMS加速度计通过微结构内发生的电容、电阻或电荷(压电)变化来检测机械加速度,现已成为仅次于压力传感器,应用量排名第二的MEMS器件。MEMS加速度计一直以来常用于振动监测、汽车测试和惯性导航等应用,最近的研究凸显了MEMS加速度计在健康监测和植入式助听器中的应用潜力。早期的MEMS加速度计采用了硅中的压阻耦合。硅微机械加工技术的进步,实现了更加复杂的可动微机械结构的可靠制造,从而构建了带有梳齿状驱动器的电容式加速度计。近些年,压电MEMS加速度计开始变得流行起来。与压阻和电容耦合加速度计相